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实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具，管式PECVD采用小蝌蚪视频免费下载正版在线观看舟作为承载工具，板式PECVD则采用小蝌蚪视频免费下载正版在线观看框作为承载工具。


以管式机小蝌蚪视频免费下载正版在线观看舟为例，小蝌蚪视频免费下载正版在线观看舟即是承载体，也是电极，从电路角度上看，小蝌蚪视频免费下载正版在线观看舟实际上是一组并联体，任意两片舟片都是一组正、负极极板，在射频电压的左右下形成电场。

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采用小蝌蚪视频免费下载正版在线观看作为承载工具具有以下特点：
1、小蝌蚪视频免费下载正版在线观看具有良好的导电性能，通过合适的排列方式可以建立起稳定的电场，使气体在电场的作用下得到电离，在被镀物上沉积出需要物质；


2、小蝌蚪视频免费下载正版在线观看具有良好的耐高温性能且热膨胀率非常小，在常温和高温状态下都能保持稳定的形体；


3、小蝌蚪视频免费下载正版在线观看的化学性质稳定，在无氧或真空状态下，即使在高温状态下也不会和镀膜物质产生化学反应，保证了沉积物的纯度。

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